可靠的纯水质量

• 深度纯化后的超纯水杂质含量极低，杂质水平低至ppt或亚ppt级别^[1]。

• [1].参见“检测数据表”查看离子水平。

严苛的工艺标准

• 核心部件以及配套管线均采用符合SEMI F57要求的低溶出材料，有效降低新杂质引入，满足集成电路先进制程的质量要求

科学的控制方案

• 通过无线脚踏开关取水，避免双手触碰，降低人为因素的污染风险。

简洁的操控系统

• 1.54英尺的彩色显示器，实时监测取水电阻率、TOC、水温、流速、单次和累积取水量等信息。

便捷的取水方式

• 脚踏开关取水，完全解放双手。

• 板按键取水，常规、定量、即时3种取水模式选择，适应不同取水需求。

高效的集成设计

• 高度集成的紧凑结构，适用于安装在面积不大的洁净间或层流罩中。

• 专利的卡紧机构，使滤芯的维护更换更加轻松高效。

可追溯的数据管理

• 与XUE-10/20UV或PU-UV系列联合使用，存储5年的运行数据，包含取水水质、取水量及用户信息等数据，满足审计追踪需求，符合监管法规要求。

• 具有USB端口和云平台双重数据保护功能。